Veeco外延設備濾芯的核心功能與應用場景：

　　1.液壓系統過濾

　　作用：在外延設備的液壓系統中，濾芯用于過濾液壓油中的顆粒污染物（如金屬屑、氧化物、橡膠碎渣等），防止雜質進入高壓泵、控制閥等關鍵部件，避免磨損、卡滯或泄漏。

　　典型場景：

　　晶圓承載臺的升降、旋轉等運動依賴液壓驅動，濾芯保障液壓油清潔，確保運動平穩性和定位精度。

　　高溫外延工藝中，液壓系統可能因熱膨脹產生微小顆粒，濾芯可攔截這些污染物，防止系統失效。

　　2.潤滑系統過濾

　　作用：在設備的傳動部件（如軸承、齒輪、導軌）中，濾芯通過過濾潤滑油中的雜質，減少摩擦面的磨損，延長機械部件壽命。

　　典型場景：

　　外延生長室的旋轉基座、氣體分配盤等部件需要持續潤滑，濾芯防止油污中的顆粒劃傷精密表面。

　　高速旋轉設備（如MOCVD反應腔的氣體渦輪）依賴清潔潤滑油，濾芯可避免渦輪葉片因污染導致振動或失效。

　　Veeco外延設備濾芯在外延設備中的特殊重要性：

　　1.保障工藝穩定性

　　外延生長對設備機械穩定性要求高（如原子層沉積需納米級平整度），液壓/潤滑系統的微小污染可能導致基片抖動或溫度波動，濾芯通過維持油液潔凈，間接提升薄膜均勻性。

　　2.防止交叉污染

　　在MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）或CVD（化學氣相沉積）設備中，液壓油泄漏可能帶入反應腔，濾芯可減少油污對晶圓的污染風險。

　　3.延長設備壽命

　　液壓泵、伺服閥等關鍵部件成本高昂，濾芯通過過濾顆粒物，可顯著降低因磨損導致的維修頻率，尤其對24小時連續運行的量產設備至關重要。